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采用化学溶液沉积法（CSD）将Bi3．4Dy0．6Ti3O12（BDT）前驱体溶液沉积在Pt（111）／Ti／SiO2／Si（111）基底上，然后在氮气环境中分别于600℃、650℃、700℃和750℃四个温度下退火，成功地制作出BDT铁电薄膜．用X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）等分别对其表面形貌、结构及其成份进行了表征；用铁电分析仪测试了其铁电性能．随着退火温度的升高。薄膜的晶粒尺寸逐渐增大，但其剩余极化不是随着退火温度的升高而单调增加．氮气中650℃退火的BDT铁电薄膜结晶良好，并且具有最大的