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论述了SIPOS钝化的原理、生产SIPOS晶体管的工艺步骤,以及在制造过程中易出现的问题和解决方法.
用掺氧多晶硅钝化技术制造高可靠高压晶体管
【摘 要】
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论述了SIPOS钝化的原理、生产SIPOS晶体管的工艺步骤,以及在制造过程中易出现的问题和解决方法.
【机 构】
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深圳深爱半导体公司
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年2期
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