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多层玻璃/铝阳极键合的扩散机理分析
多层玻璃/铝阳极键合的扩散机理分析
来源 :机械工程与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jeffyi2009
【摘 要】
:
通过对多层玻璃/铝进行阳极键合,分析了键合后过渡层的形貌与元素组成,探讨了键合过程的键合机理。研究认为:金属与玻璃阳极键合的根本是在键合过程中离子扩散和界面处的氧化,
【作 者】
:
郭劲言
孟庆森
【机 构】
:
山西工程技术学院,太原理工大学
【出 处】
:
机械工程与自动化
【发表日期】
:
2016年3期
【关键词】
:
阳极键合
玻璃
铝
anodic bonding
glass
aluminum
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通过对多层玻璃/铝进行阳极键合,分析了键合后过渡层的形貌与元素组成,探讨了键合过程的键合机理。研究认为:金属与玻璃阳极键合的根本是在键合过程中离子扩散和界面处的氧化,键合与界面的紧密接触和形成的有效氧化物有关。
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