Summary of Research Status and Application of MEMS Accelerometers

来源 :电脑和通信(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：askloopp1

【摘要】

：

The rapid development of MEMS technology has made MEMS accelerometers mature and the application range has been expanded. Many kinds of MEMS accelerometers are

【作者】

：

Weimeng Niu Liqing Fang Lei Xu

【机构】

：

ArmyEngineeringUniversityShijiazhuangCampus

【出处】

：

电脑和通信(英文)

【发表日期】

：

2018年12期

【关键词】

：

MEMS TECHNOLOGY MEMS ACCELEROMETER MEMS Technology MEMS Accelerometer

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The rapid development of MEMS technology has made MEMS accelerometers mature and the application range has been expanded. Many kinds of MEMS accelerometers are researched. According to the working principle of MEMS accelerometer, it can be divided into: p

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