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采用流延法在有凹槽的硅片上制备出钛酸锶钡（（Ba，Sr）TiO3）厚膜材料。为了提高薄膜的致密性和降低烧结温度，采用溶胶沉淀法制备BST纳米粉末，并结合水热处理进一步提高其结晶性，降低颗粒中有机物的吸附量。所得BST厚膜烧结温度约为1200℃。经1000℃、5h热处理后，BST厚膜厚约30μm，表面平整，且较致密。介温谱表明其相变温度约为30℃，介电损耗约为0．02，与薄膜材料相比，其介温变化率有较大的提高。