干涉法测量多层透明膜系反射率

来源 :光学与光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuhailinxhl
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应用干涉法实现透明膜系反射率的测量.将待测膜系镀在两薄玻璃片,并构成F-P干涉仪,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值,计算出膜系反射率,避免了光源波动对测量结果的影响.在实验所用膜系的反射率小于98%时,测量误差小于0.09%.
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