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Veeco Instruments公司宣布推出最新InSight（TM）3D自动原子力显微镜（AFM）平台，为45nm和32nm的半导体工艺带来了非破坏性、高分辨率的快速测量方法。InSight 3DAFM专为量产环境中关键尺寸（CD）、厚度和CMP的测量而设计。
Veeco推出最新INSIGHT三维原子力显微镜为45nm以下工艺带来高效精准测量技术
【摘 要】
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Veeco Instruments公司宣布推出最新InSight（TM）3D自动原子力显微镜（AFM）平台，为45nm和32nm的半导体工艺带来了非破坏性、高分辨率的快速测量方法。InSight 3DAFM专为量产环境中关
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年12期
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