单晶硅摩擦致相变的SEM研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Shauphei

【摘要】

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自从Jamieson发现单晶硅的高压相变现象以来,有关单晶硅的高压相变的研究逐步开展起来,其最终目的之一就是通过金属延性相的出现来解决单晶硅的加工问题.Pharr、Gogotsi、Zha

【作者】

：

李小成吕晋军高飞杨生荣

【机构】

：

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

单晶硅相变分析晶体结构金属延性相扫描电子显微镜压力相变

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自从Jamieson发现单晶硅的高压相变现象以来,有关单晶硅的高压相变的研究逐步开展起来,其最终目的之一就是通过金属延性相的出现来解决单晶硅的加工问题.Pharr、Gogotsi、Zhang liangchi等人利用纳米压入技术系统研究了单晶硅的压力致相变问题.本文旨在研究单晶硅在滑动摩擦过程中的相变问题.

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