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荷电效应是导致扫描电子显微镜(SEM)图像产生缺陷最重要原因之一,它会使SEM图像出现异常反差、畸变、像散、亮点与亮线等.该文通过对同一种实验材料采用不同实验条件所得图像进行对比分析,详细阐述了荷电效应产生的机理,对SEM图像的影响以及解决方法.
荷电效应对扫描电子显微镜图像的影响及其解决方法
【摘 要】
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荷电效应是导致扫描电子显微镜(SEM)图像产生缺陷最重要原因之一,它会使SEM图像出现异常反差、畸变、像散、亮点与亮线等.该文通过对同一种实验材料采用不同实验条件所得图像
【机 构】
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湛江师范学院实验教学管理处
【出 处】
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湛江师范学院学报
【发表日期】
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2008年6期
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