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论述采用激光干涉原理自动调焦的方法，被调焦的光学系统视为双光束干涉光路的一部分，从干涉纺中取得光学系统的调焦信息，通过由CC电器件，微机，步进电机组成的光电系统对离焦量进行检测和补偿实现自动调焦，这种方法与已有的相关法和对比度法相比，调焦精度高，易于实现，有较高的实用性。
激光干涉自动调焦原理和方法
【摘 要】
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论述采用激光干涉原理自动调焦的方法，被调焦的光学系统视为双光束干涉光路的一部分，从干涉纺中取得光学系统的调焦信息，通过由CC电器件，微机，步进电机组成的光电系统对离焦量进行
【机 构】
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精密仪器工程系
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1993年2期
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