论文部分内容阅读
平面度测试仪主要适用于半导体制造工业中测量抛光硅片和高分辨率照相版的平面度，以保证硅片光刻和掩膜版复制的精度和质量。同时，也可测量光学玻璃、陶瓷和金属等材料制成平板的平面度。本仪器具有量程大、测量精确可靠、干涉条纹格值可调和测量结果能以二维干涉图形在投影屏上定性，定量快速显示等优点，为半导体制造工业提供先进的可靠的检测设备。