【摘 要】
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综述了氮氧化硅的制备方法 ,系统介绍了无机固相反应法、化学气相沉积法和有机先驱体法制备氮氧化硅的工艺条件 ,阐述了终产品与原料和工艺条件的关系 ,并指出了各方法的优缺
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 0 72 0 0 2 )
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综述了氮氧化硅的制备方法 ,系统介绍了无机固相反应法、化学气相沉积法和有机先驱体法制备氮氧化硅的工艺条件 ,阐述了终产品与原料和工艺条件的关系 ,并指出了各方法的优缺点和亟待解决的问题 .着重介绍了聚合物先驱体的合成方法和结构影响因素 ,并详细介绍了热分解条件对氮氧化硅陶瓷成分和性能的影响 .这对氮氧化硅陶瓷的成分设计、合成和性能研究具有重要指导意义
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