Phase changes of the ZrO2—12wt%Y2O3 film with Ar^＋ irradiation

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangbingkai

【摘要】

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The zirconia containing 12wt% Y2O3 thin films deposited by r.f.magnetron sputtering at 25℃or 400 ℃,and then bombarded with Ar^+ beam at room temperature were

【作者】

：

WANGDezhi ZHANGHailong 等

【机构】

：

InstituteofNuclearScienceandTechnology,InstituteofNuclearScienceandTe

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

薄膜 Ar^+辐照相变 Magnetron sputtering ZrO_2-12wt% Y_2O_3 film Ar~+ irradiation XR

【基金项目】

：

National Natural Science Foundation of China

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The zirconia containing 12wt% Y2O3 thin films deposited by r.f.magnetron sputtering at 25℃or 400 ℃,and then bombarded with Ar^+ beam at room temperature were characterized with XRD before and after Ar^+ bombardment,It is found that a series of phases form

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