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介绍了准分子激光微加工的机理，设计并研制了步进控制的二维微动扫描台，建立了一种基于准分子激光的微加工装置，通过计算机控制扫描路径，可实现点、线、面等基本微结构以及组合型微结构、微器件的加工制作。利用该准分子激光微加工装置，进行了微结构和微器件的加工实验，成功加工制作出齿轮形微结构和微型无芯薄膜变压器件。准分子激光微加工装置具有加工效率高、加工切口平整、可实现各种形状的微结构与微器件的加工等特点，可望在微机电系统（MEMS）及微纳米技术领域得到广泛应用。