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期刊论文
退火工艺对太阳能多晶硅硬质点的影响
退火工艺对太阳能多晶硅硬质点的影响
来源 :现代工业经济和信息化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxh272787054
【摘 要】
:
太阳能多晶铸锭采用的是定向凝固多晶铸锭法。硬质点是太阳能多晶硅锭的一个致命缺陷,直接影响着后道工序的正常生产,这就需要在铸锭过程中对退火工序进行改善。就此详细论述
【作 者】
:
王江宏
宗红梅
【机 构】
:
陕西国防工业职业技术学院,西安华晶电子技术股份有限公司
【出 处】
:
现代工业经济和信息化
【发表日期】
:
2018年6期
【关键词】
:
退火时间
硬质点
铸造多晶硅
退火温度
annealing time
hard spot
casting polysilicon
annealing tempe
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太阳能多晶铸锭采用的是定向凝固多晶铸锭法。硬质点是太阳能多晶硅锭的一个致命缺陷,直接影响着后道工序的正常生产,这就需要在铸锭过程中对退火工序进行改善。就此详细论述了退火时间、退火温度对硬质点及成品率的影响,以寻求一个最佳的工艺参数来提高生产成品率,降低生产成本。
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