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VGF法生长半导体晶体的研究进展
VGF法生长半导体晶体的研究进展
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangxunzhi520
【摘 要】
:
VGF法可实现晶体生长条件可控,晶体重复性好,所生长晶体尺寸大、位错密度低、应力小,是一种很有前景的晶体生长方法。本文综述了VGF法生长半导体晶体、数值模拟和磁场应用的
【作 者】
:
范叶霞
【机 构】
:
华北光电技术研究所
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
2015年5期
【关键词】
:
VGF法
半导体晶体
晶体生长
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VGF法可实现晶体生长条件可控,晶体重复性好,所生长晶体尺寸大、位错密度低、应力小,是一种很有前景的晶体生长方法。本文综述了VGF法生长半导体晶体、数值模拟和磁场应用的国内外研究进展。
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