多壁碳纳米管湿敏传感器的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cnjhhzy

【摘要】

：

传感器的基底为Al板电化学氧化成Al2O3绝缘层模板,上面真空溅射了叉指金电极,在电极之间旋涂微量多壁碳纳米管的水悬浊液,干燥后作为敏感膜.室温下测试传感器暴露在不同湿度

【作者】

：

陈文菊郭淼陈金霞潘敏陈裕泉

【机构】

：

浙江大学生物医学工程系

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

多壁碳纳米管湿敏相对湿度饱和盐水溶液碳二酰胺 multi-wall carbon nanotube gas sensor relative humi

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传感器的基底为Al板电化学氧化成Al2O3绝缘层模板,上面真空溅射了叉指金电极,在电极之间旋涂微量多壁碳纳米管的水悬浊液,干燥后作为敏感膜.室温下测试传感器暴露在不同湿度的电阻变化,发现吸附了H2O后传感器的导电能力降低,且下降的幅度与被测湿度有良好的梯度关系.同时该多壁碳纳米管再经缩合剂EDC修饰后旋涂于电极上形成的敏感膜对湿度呈指数级变化.对它们的湿敏响应的机理进行了一些初步的探讨.

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