【摘 要】
：
光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
：
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.863-2-5-1-13B)
论文部分内容阅读
光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测量术的测量原理和研究进展,指出了这些方法各自的优缺点和适用范围。AFM测量法和SEM测量法均可测得光栅的局部形貌信息,可用于检测光栅表面形貌缺陷;LD测量法和散射测量术反映的是激光照射区域的平均结果,其中LD测量法能得到光栅周期参数,而椭偏测量术能得到光栅周期以外的其他形貌参数。这些方法测得的光栅参数结果比较吻合,其中LD测量法不确定度最小,AFM次之,SEM最大。文章最后对未来光栅参数测量技术的发展方向进行了论述。
其他文献
随着区域经济的快速发展和全球金融危机的不断扩展，动态准备金制度逐渐成为大中型企业或者监管会提供宏观调控手段的有效工具。本文以动态准备金体系作为出发点，并从实际损失与
微创手术机器人克服了传统微创手术在观察、宜人、操作、灵活等多方面的不足,在辅助医生执行外科手术时获得了广泛的应用。然而,现有微创手术机器人仍然缺少力反馈功能,它无
我国经济新常态环境下,实施"双创"战略是推动经济发展的必然选择,更是推进西部大开发的必经之路,同时可以对促进西部地区大学生就业发挥重要作用。本文研究了"双创"教育对西
中华民族上下五千年，传统文化是民族数千年的思想结晶，得以代代传承。它比现代文化更能凸显中华民族的鲜明特色。环境艺术设计伴随着社会及经济的进步而发展，紧跟时代潮流，且一直
<正> 在创业案例的分析中,经常探讨的是创业成功的关键因素是什么。不过人们都知道,创业失败的机率远比成功要高。虽然人们常将这些失败归咎于不可控制的风险,但如果事后你细
大树移植中能否掌握树木移植的技术，是决定树木成活率的关键。
为了用核磁共振（NMR）技术测量强磁场,采用了一种新型的高灵敏度的边缘振荡器,该振荡器的电路有两个突出的特点:一是采用四分之一波长的同轴线连接样品线圈和振荡器;二是振荡器
纵观中西神话,其所包含的神话内容本身及创作原因、过程、意图和影响各有不同。通过中西神话的对比,我们不难发现,中西意识形态、文化构架的差异在神话中有所反应,神话对不同
学校开展文化素质教育可以提升广大大学生的文化品位．审美情趣、人文素养和科学素质等，对大学生升华其思想境界，丰富其精神世界．发展其思维、创新意识和能力等有促进作用。因此，加