【摘 要】
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为了优化双高压预电离等离子体射流装置,分别探究了两种不同的主放电区长度等离子体射流源所产生的O2/Ar等离子体射流的电流,电子密度和电功率随电源频率的变化趋势.结果发现
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(No:11305017).
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为了优化双高压预电离等离子体射流装置,分别探究了两种不同的主放电区长度等离子体射流源所产生的O2/Ar等离子体射流的电流,电子密度和电功率随电源频率的变化趋势.结果发现,主放电区长度6 cm时,一旦电源频率升高到23 kHz时,等离子体射流的电流,电子密度和电功率在此时都出现了突增;而主放电区长度为10 cm时,这些参量并没有出现突增,而是随着电源频率的升高而持续平稳的增加,同时,这些参量要高于相同电源频率的主放电区长度为6 cm的等离子体射流参量,这说明主放电区长度会影响电源频率对等离子体参量影响的程度
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