【摘 要】
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利用高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积(HIP-PECVD)技术,在硅基底表面制备指纹状的碳基薄膜(FP-C∶H).通过Tecnai-G2 F30型高分辨透射电镜(HRTEM)以及LABRAM HR 800型拉曼
【机 构】
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兰州理工大学石油化工学院,兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
【基金项目】
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科技部973项目(2013CB632300)
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利用高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积(HIP-PECVD)技术,在硅基底表面制备指纹状的碳基薄膜(FP-C∶H).通过Tecnai-G2 F30型高分辨透射电镜(HRTEM)以及LABRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜的结构进行表征;利用往复摩擦试验机、奥林巴斯STM6测量显微镜和3D轮廓仪分析比较薄膜在润滑油作用下的摩擦性能.实验结果表明:所制备的碳基薄膜具有独特的指纹状类石墨烯结构;在三羟甲基丙烷油酸酯(TMPTO)作为润滑油的条件下,指纹状类石墨烯碳基薄膜在低载荷下表现出良好的减摩性能;在高载
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