【摘 要】
：
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十九研究所
论文部分内容阅读
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核：组件密封漏率小于1×10~（-10）Pa·m~3/s,密封
其他文献
贵州金麦科技生态园位于贵阳市观山湖区上麦收费站旁,占地五百亩,绿树成荫,禽鸟嬉戏;三月桃花红,五月枇杷黄;秋来品佳果,冬寒梅花香。是亲友休闲、同事聚会、团体活动的最佳
目的探讨胎儿心包内隔离肺的超声诊断。方法对1例胎儿心包内隔离肺病例的临床资料、超声诊断、尸检病理结果进行分析,并复习相关文献。结果 1例超声检查发现胎儿右胸腔中下部
“学”是基础。全体党员、组工干部要弄清楚自己该做什么、不该做什么，能做什么、不能做什么，明白作为一名党员、组工干部最基本的要求是什么，要深入学习推进“两学一做”学习教
一、房价收入比的计算方法和衡量标准房价收入比,是指房屋总价与居民家庭年收入的比值,该指标主要用于衡量房价是否处于居民收入能够支撑的合理水平,直接反映出房价水平与广
将地下物流网络抽象为2层物流节点,研究运输过程中的运输工作量、时间费用及中转延误,合理设置最大运输能力和最长时间的约束条件,建立以运输费用和运输时间最小化的目标函数
目的研究上海市市售肉制品中沙门菌血清型、耐药谱和分子分型特征。方法 2016年1~8月在上海市所辖16个行政区,随机选择1个密集型社区,抽取1家超市或市场作为哨点,定期采集畜
随着跨境人民币结算业务的深入发展,外商直接投资人民币结算业务也取得了显著成效。人民币跨境投融资政策不仅为企业带来了优惠,同时也大大拓宽了境内银行多元化盈利空间,为
介绍了该高温绝压传感器的原理和特点，设计了传感器关键元件弹性膜片结构，制定了一套弹性膜片的制作工艺，使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来，弹性膜片金相组织和力
为了改善永磁同步电机直接转矩控制系统的控制性能,提出将直接转矩控制与线性-滑模变结构控制相结合的策略,分别采用转矩、磁链线性-滑模混合型控制器取代了传统直接转矩控制