【摘 要】
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综述了国外近十多年来双面对准曝光机及其对准技术的发展，介绍了以面曝光机采用的红外对准技术和Ｋａｒｌ Ｓｕｓｓ、ＪＢＡ、ＯＡＩ、ＵＳＨＩＯ Ｉｎｃ、Ｕｎｉｏｎ、Ｅｌｅｃｔｒｎｉｃ Ｖｉｓｉｏｎｓ Ｃｏ。等公司研制的双面曝光机性能及其用途；并预测了今后电力电
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综述了国外近十多年来双面对准曝光机及其对准技术的发展，介绍了以面曝光机采用的红外对准技术和Ｋａｒｌ Ｓｕｓｓ、ＪＢＡ、ＯＡＩ、ＵＳＨＩＯ Ｉｎｃ、Ｕｎｉｏｎ、Ｅｌｅｃｔｒｎｉｃ Ｖｉｓｉｏｎｓ Ｃｏ。等公司研制的双面曝光机性能及其用途；并预测了今后电力电子器件、微机械制造、传感器件、调节器等微小功能器件的广阔市场，为双面曝光技术的发展提供了良好的发展机会和潜在的应用市场。
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