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本文介绍了一种新型空间光调制器——硅基底液晶光阀。阐述了该器件的工作原理和各膜层的制备过程。最后提出了两种薄双面抛光片的方法,它们是实现该器件实用化的关键工艺。
硅基底液晶光阀的理论和工艺研究
【摘 要】
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本文介绍了一种新型空间光调制器——硅基底液晶光阀。阐述了该器件的工作原理和各膜层的制备过程。最后提出了两种薄双面抛光片的方法,它们是实现该器件实用化的关键工艺。
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,中国科学院西安光学精密机械研究所710068,710068
【出 处】
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高速摄影与光子学
【发表日期】
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1991年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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