四阱耦合InGaAs/InAlAs/InP量子级联激光器材料的结构特性研究

来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cobo520

【摘要】

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报道了用气态源分子束外延(GSMBE)技术生长的InAlAs/InGaAs四阱耦合量子级联激光器(QCL)材料的结构特性.X射线双晶回摆曲线谱测量结果表明所生长的QCL有源区的界面(含770层外

【作者】

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李华李爱珍

【机构】

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出处】

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稀有金属

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

量子级联激光器 X射线衍射

【基金项目】

：

中国科学院基础研究项目;国家重点基础研究发展计划(973计划)

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报道了用气态源分子束外延(GSMBE)技术生长的InAlAs/InGaAs四阱耦合量子级联激光器(QCL)材料的结构特性.X射线双晶回摆曲线谱测量结果表明所生长的QCL有源区的界面(含770层外延层)、厚度达到单厚子层控制,组份波动≤1%,晶格失配≤1×10-3.采用特殊的优化工艺,Φ50 mm 外延片的表面缺路陷密度降至1×10 cm-2,达到了器件质量的要求.

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