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利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器.该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm.
微机械可调谐滤波器的研制
【摘 要】
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利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器.该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm.
【机 构】
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北京邮电大学,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年期
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