【摘 要】
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多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否生成出合格的硅锭,而合格的硅锭直接决定着硅片制成的电池的光电转换
【基金项目】
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国家863科研攻关项目(项目编号:2006AA05Z407)
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多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否生成出合格的硅锭,而合格的硅锭直接决定着硅片制成的电池的光电转换效率。比较详细地介绍了多晶硅铸锭炉典型的生产工艺、设备组成和控制系统。重点介绍了控制系统的硬件控制结构、软件流程以及在设计时体现出的独到的设计理念和创新性。
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