对一个32通道的聚合物阵列波导光栅进行了研究和制作。经过旋涂、光刻、反应离子刻蚀等工艺过程,利用Al掩膜技术和回融技术进行了器件的制作。实验结果表明,回融技术使样本的波导表面的均方根粗糙度降低了约0.02μm。测试结果表明,器件的结构指标与理论设计值基本相符,并且波导在C波段上实现了单模传输。器件的插入损耗约为35dB,相邻通道串扰小于-20dB,很好地实现了波分复用功能。
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