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对衬底负偏压热灯丝ＣＶＤ金刚石膜核化过程进行了研究。利用原子力显微和扫描电子显微镜观察和分析结果表明，在衬底负偏压下正离子对Ｓｉ衬底表面轰击导致产生了大量的小坑几尖劈端，以此作为核化点，从而促进了核化过程。
用原子力显微镜观察金刚石膜核化过程
【摘 要】
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对衬底负偏压热灯丝ＣＶＤ金刚石膜核化过程进行了研究。利用原子力显微和扫描电子显微镜观察和分析结果表明，在衬底负偏压下正离子对Ｓｉ衬底表面轰击导致产生了大量的小坑几尖劈端，以此
【机 构】
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重庆大学应用物理系
【出 处】
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甘肃科学学报
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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