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本文利用电化学中的电解过程是以原子为单位进行阳极溶解的原理，进行了纳米级微细加工的研究。分析了用电化学方法进行原子级加工的可能性和条件，分别用酸、碱、盐等多种电，解液进行了微细加工试验。
用电化学方法进行纳米级微细加工的初探
【摘 要】
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本文利用电化学中的电解过程是以原子为单位进行阳极溶解的原理，进行了纳米级微细加工的研究。分析了用电化学方法进行原子级加工的可能性和条件，分别用酸、碱、盐等多种电，解液
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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