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白光干涉测量技术是光学测量中一种非常重要的方法。介绍了白光干涉测量的原理及系统构成,提出了基于局部峰点插值提取白光干涉信号包络的算法。对局部峰点插值提取包络算法的实现和数据处理的过程进行了讨论,得到了清晰的三维表面形貌图像。
基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究
【摘 要】
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白光干涉测量技术是光学测量中一种非常重要的方法。介绍了白光干涉测量的原理及系统构成,提出了基于局部峰点插值提取白光干涉信号包络的算法。对局部峰点插值提取包络算法
【机 构】
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佛山科学技术学院机电工程系,华南理工大学机械与汽车工程学院
【出 处】
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佛山科学技术学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2012年4期
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