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针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状态,在某些加工温差段,摆片的刚度出现奇异值,摆片变形已不再满足小变形条件,导致摆片无法正常工作.本文亦提出了改善措施.
PWM数字微型加速度计摆片温度应力研究
【摘 要】
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针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状态,在某些加工温差段,摆片的刚度出现奇异值
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年2期
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