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ＭＣＭ－Ｄ是近年来发展起来的高密度多芯片组装技术，其制做工艺同ＩＣ工艺相兼容，因此在ＩＣ生产厂家发展得很快。本文主要介绍用ＩＣ加工工艺和设备制备ＭＣＭ－Ｄ技术以及ＭＣＭ－Ｄ的芯片安装技术。
MCM—D工艺技术的研究
【摘 要】
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ＭＣＭ－Ｄ是近年来发展起来的高密度多芯片组装技术，其制做工艺同ＩＣ工艺相兼容，因此在ＩＣ生产厂家发展得很快。本文主要介绍用ＩＣ加工工艺和设备制备ＭＣＭ－Ｄ技术以及ＭＣＭ－Ｄ的芯片安装技术。
【机 构】
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电子工业部东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1997年3期
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