【摘 要】
：
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成
【机 构】
：
福州大学,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
论文部分内容阅读
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2。
其他文献
机关党建工作是确保党的路线方针政策和决策部署贯彻落实的基础。市财政局党组紧紧围绕全市中心工作，提高财政工作政治站位，坚决学习贯彻党的十八届六中全会和党的十九大精神，把
随着交通流量的不断增长,高速、一级公路的不断增加,车辆对路面的要求也越来越高;本文主要对沥青混凝土路面施工工程进行了技术探讨,从沥青混凝土路面施工的施工准备阶段至收
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
本文基于笔者的学习和研究心得,以初高等数学教学的有效衔接为研究对象,分析了初等数学和高等数学的定位,相互关系和衔接的措施,全文是笔者长期学习和研究基础上的理论升华,
广西北部湾经济区法律服务业发展呈现出服务业总体发展态势良好，但从法律服务业外部环境和法律服务业内部看，均存在诸多问题。解决这些问题需要一定的策略，包括明确法律服务过程
六苯氧基环三磷腈(HPTCP)是近些年国内外研究出的一种新型磷系阻燃剂,不仅对PC及其合金的阻燃性能好,而且对材料的物理性能影响小,因而受到国内外的重视。但其合成过程中会产
目的：探讨酸相关性胃病患者胃酸pH与生活事件量表（1ife event scale，LES）评分的相关性，比较不同胃酸pH组受试LES因子分的差异。方法：对酸相关性胃病患者行LES评定，按胃酸pH值的簇集
中越两国山水相连,有着1347公里绵延的边境线,两国关系及传统友谊源远流长,越南独立前,其北部为中国封建王朝所管辖,在越南独立之后的1000多年中,中越又有着密切的交往。从秦
一般情况下,泥石流体屈服应力随着泥沙颗粒体积浓度的增大而增大,同时随着黏粒黏性的增强而增强。在此研究基础上,以泥石流体屈服应力为研究目标,选取了蒙脱石、伊利石、绿泥