【摘 要】
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开发了一套微细电火花加工系统，该系统不仅能加工微细轴、微细孔，还能实现微三维结构的微细电火花加工。研究了针对该系统的微细电火花加工工艺技术，研究了放电电压、放电电容等
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开发了一套微细电火花加工系统，该系统不仅能加工微细轴、微细孔，还能实现微三维结构的微细电火花加工。研究了针对该系统的微细电火花加工工艺技术，研究了放电电压、放电电容等工艺参数，主轴转速，以及工作液介质对微细电火花加工效率、相对电极损耗率的影响规律。采用旋转削边电极技术大大提高了进行大深径比微细孔加工时的加工效率。进行了大量的加工实验，加工出了最小直径为6μm的微细轴以及最小直径为10μm的微细孔；通过对电极损耗的在线补偿策略研究，实现了微三维结构的加工，加工出了外径为4mm、具有24个叶片的微型涡轮盘及具
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