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介绍一种用于接近式曝光机的掩摸一样片对准机构，讨论了系统组成及结构设计，对主要部分作了精度分析，并给出了系统各部分的主要技术指标。
掩模一样片对准台
【摘 要】
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介绍一种用于接近式曝光机的掩摸一样片对准机构，讨论了系统组成及结构设计，对主要部分作了精度分析，并给出了系统各部分的主要技术指标。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所!四川成都610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1999年S1期
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