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介绍了运用热分解露点法测量超纯氨气中微量水分的方法与设备.主要包括SH-7000冷镜式露点仪与热分解露点检测装置（TDDP）两部分.SH-7000露点仪基于冷镜式露点仪原理,采用微型专用制冷机,可准确地测量高纯气体的露点.TDDP系统基于氨气在高温环境下通过催化剂会发生不可逆的分解反应,而氨气中微量水分不会变化的原理,配合微量氧含量的测量,可准确得到氨气中的微水分含量.