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本文分析了声表面波ｓｕｒｆａｃｅ ａｃｏｕｓｔｉｃ ｗａｖｅ简称ＳＡＷ）力敏传感器力载后，频率稳定性变关的原因。在此基础上，设计了一种新型的采用等应务和载的力敏传感器，计算了该传感器的灵敏度，并给出了该传感器的频漂实验和力－频特性实验结果，为传感器的实际应用打下了基础。
声表面波力敏传感器的研究
【摘 要】
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本文分析了声表面波ｓｕｒｆａｃｅ ａｃｏｕｓｔｉｃ ｗａｖｅ简称ＳＡＷ）力敏传感器力载后，频率稳定性变关的原因。在此基础上，设计了一种新型的采用等应务和载的力敏传感器，计算了该传感器的灵敏度，并给出了该传感器的频漂
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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