玻封低压稳定管的单步扩散工艺

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本文对工作在隧道击穿状态下的低压稳压管I-V特性及动态电阻RX进行了理论分析。提出了用单步扩散平面工艺制作DO-35玻封低压稳压管的工艺。制备的样品符合GB9596-88标准。
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