【摘 要】
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采用化学气相沉积法制备了多壁碳纳米管（MWNTs）,并向ZnO粉体中掺入不同比例的MWNTs,利用扫描电子显微镜（SEM）对合成物进行了表征,以该合成物为敏感材料制成了旁热式结构的气体传
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采用化学气相沉积法制备了多壁碳纳米管（MWNTs）,并向ZnO粉体中掺入不同比例的MWNTs,利用扫描电子显微镜（SEM）对合成物进行了表征,以该合成物为敏感材料制成了旁热式结构的气体传感器,通过元件对乙醇气敏特性的测试表明,MWNTs的掺杂显著地提高了ZnO气敏材料对乙醇气体的灵敏度,当乙醇气体浓度为5.0×10-5时,元件的灵敏度为46,响应恢复时间分别为4和20s,并测试了传感器对于常见干扰气体的灵敏度,表明器件具有良好的选择性。
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