【摘 要】
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在对日立S-450型扫描电镜真空系统的组成结构、工作流程、控制原理及电路特点认真研究的基础上,对真空系统放气流程中发生的故障进行了详细描述分析。从控制电路的电源入手,
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在对日立S-450型扫描电镜真空系统的组成结构、工作流程、控制原理及电路特点认真研究的基础上,对真空系统放气流程中发生的故障进行了详细描述分析。从控制电路的电源入手,将故障范围缩小到了电磁阀驱动电路,通过对此电路组成的特点分析、电路关键点参数的测量及其相关电子元器件技术参数的查阅,采用国产元器件成功修复了扫描电镜不能执行放气流程的故障,并从加强学习、注意收集资料、处理故障的方法、积极的日常维护等方面浅谈了扫描电镜维护与故障处理的几点体会,希望对还在继续使用同类电镜的同仁有所参考,使这类老型号的大型精密仪器
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