【摘 要】
:
In this letter, a phase change random access memory(PCRAM) chip based on Ti0.4Sb2Te3 alloy material was fabricated in a 40-nm 4-metal level complementary metal-
【机 构】
:
State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics,Shanghai Institute of Micro-system and
【出 处】
:
Nano-Micro Letters
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In this letter, a phase change random access memory(PCRAM) chip based on Ti0.4Sb2Te3 alloy material was fabricated in a 40-nm 4-metal level complementary metal-oxide semiconductor(CMOS) technology. The phase change resistor was then integrated after CMOS logic fabrication. The PCRAM was successfully embedded without changing any logic device and process, in which 1.1 V negative-channel metal-oxide semiconductor device was used as the memory cell selector. The currents and the time of SET and RESET operations were found to be 0.2 and 0.5 m A, 100 and 10 ns,respectively. The high speed performance of this chip may highlight the design advantages in many embedded applications.
In this letter, a phase change random access memory (PCRAM) chip based on Ti0.4Sb2Te3 alloy material was fabricated in a 40-nm 4-metal level complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) technology. The PCRAM was successfully embedded without changing any logic device and process, where 1.1 V negative-channel metal-oxide semiconductor device was used as the memory cell selector. The currents and the time of SET and RESET operations were found to be 0.2 and 0.5 m A, 100 and 10 ns, respectively. The high speed performance of this chip may highlight the design advantages in many embedded applications.
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