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使用热丝化学气相沉积法（HFCVD）在硬质合金片以及球头铣刀表面沉积了微米金刚石薄膜（MCD），纳米金刚石薄膜（NCD）以及微米纳米复合金刚石薄膜（MNCD），通过扫描电子显微镜和拉曼光谱对其进行表征，结果呈现出典型的金刚石薄膜的性质，沉积质量高。金刚石薄膜与氧化锆陶瓷的摩擦磨损实验表明：金刚石薄膜能有效地降低对磨时的摩擦系数以及磨损率。使用三种金刚石薄膜涂层铣刀对氧化锆陶瓷进行铣削加工试验，结果显示：金刚石涂层刀具磨损率大幅度降低，刀具寿命显著增强。