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用扫描电镜测量纳米级长度的时候，被测长度的倾斜会导致被测长度产生误差，通常称其为倾斜误差。本文对于倾斜误差进行了实验和分析。给出了倾斜误差与倾斜角度的关系公式和对应数据表，同时提出了减小或消除倾斜误差的方法，为提高测量准确度，建立标准测量方法，创造了条件。
用扫描电镜测量纳米级标准长度的倾斜误差计算
【摘 要】
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用扫描电镜测量纳米级长度的时候，被测长度的倾斜会导致被测长度产生误差，通常称其为倾斜误差。本文对于倾斜误差进行了实验和分析。给出了倾斜误差与倾斜角度的关系公式和对应
【机 构】
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上海交通大学分析测试中心，上海200030同济大学，上海200030
【出 处】
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第九届全国青年分析测试学术报告会
【发表日期】
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2006年12期
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