【摘 要】
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在30kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在钼衬底上分别制备了普通微米自支撑膜及多层金刚石自支撑膜并对其进行研究。结果
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,北京科技大学冶金生态学院
【基金项目】
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国家“863”计划（No.2002AA305508）,国家自然科学基金（No.50472095）,教育部留学基金（No.2003-14）,北京科技新星计划（No.2003A13）和北京市自然科学基金（No.2062015）资助
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在30kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在钼衬底上分别制备了普通微米自支撑膜及多层金刚石自支撑膜并对其进行研究。结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面;多层膜中各层膜体的内应力沿生长方向有明显变化,出现一个从压应力到拉应力变化的过程;在沉积过程中,随着层数变化,膜体的生长速率也发生相应的变化。
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陈松,同济大学经济与管理学院教授、技术经济及管理专业博士生导师、党委副书记,2000年获清华大学经济管理学院管理学博士。长期从事技术创新管理、创业投资、技术经济评价、