Luminescent Nanocrystalline Silicon Carbide Thin Film Deposited by Helicon Wave Plasma Enhanced Che

来源 :中国航空学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cbl1212

【摘要】

：

Hydrogenated nanocrystalline silicon carbide (SiC) thin films were deposited on the single-crystal silicon substrate using the heli-con wave plasma enhanced che

【作者】

：

LU Wan-bing YU Wei WU Li-ping

【机构】

：

CollegeofPhysicsScienceandTechnology

【出处】

：

中国航空学报：英文版

【发表日期】

：

2006年B12期

【关键词】

：

发光纳米晶碳化硅薄膜螺旋波等离子体增强化学汽相沉积等离子体加工 silicon carbide nanostructures plasma proce

【基金项目】

：

Natural Science Foundation of Hebei Province, China（503129 and E2006000999）

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