【摘 要】
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采用了等离子体增强化学气相沉积法（Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD）,硅烷SiH4（用氮气N2稀释到12%）和纯氨气NH3作为反应气体在（100）硅片上生长氮化硅薄膜;采用表
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采用了等离子体增强化学气相沉积法（Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD）,硅烷SiH4（用氮气N2稀释到12%）和纯氨气NH3作为反应气体在（100）硅片上生长氮化硅薄膜;采用表面轮廓仪（Dektak3 6M）测量氮化硅薄膜的残余应力;由XPS测得氮化硅薄膜的氮硅比。讨论沉积温度对氮化硅薄膜残余应力的影响,并分析其原因。
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