类金刚石碳膜磁控溅射抗剥离结合强度的实验研究

来源 :廊坊师范学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yhmlivefor50

【摘要】

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在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳原子含量最高,且膜层外观结构光滑无裂痕,韧

【作者】

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王德山

【机构】

：

苏州大学

【出处】

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廊坊师范学院学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2014年6期

【关键词】

：

磁控溅射镀膜类金刚石碳膜复杂型腔制件抗剥离特性结合强度 magnetron sputtering coating diamond-like carbon

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在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳原子含量最高,且膜层外观结构光滑无裂痕,韧度、界面结合强度、硬度和厚度等性能指标良好.实验结果对比分析发现Ti/TiN/TiAlN为过渡层的DLC碳膜抗剥离附着性能好,膜层间的结合强度和致密度大幅提高,涂层的内应力明显降低,DLC碳膜的综合力学性能得到全面改善.

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