用于测量微图形的高速机械扫描系统

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hnfengzhong

【摘要】

：

本文介绍了高速机械扫描系统的结构和原理，分析了它的精度。 This paper introduces the structure and principle of high-speed mechanical scanning system, and analyzes

【作者】

：

张二星阮锦赵军

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械研究所

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

1994年03期

【关键词】

：

机械扫描图形的微型机械系统的结构丝杆扫描系统步进电机光栅尺微位移弹簧片

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本文介绍了高速机械扫描系统的结构和原理，分析了它的精度。 This paper introduces the structure and principle of high-speed mechanical scanning system, and analyzes its accuracy.

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