多晶硅生产中废气处理工艺改造

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随着太阳能发电技术及半导体技术的不断发展,当前多晶硅的应用范围愈加广泛,多晶硅产量也在逐年提升。但是当前多晶硅生产大多采用西门子生产工艺,该工艺伴随有大量的废气排放,而现有的废气处理工艺的处理效果并不尽如人意,这也限制了多晶硅行业的发展。近年来技术人员结合多晶硅生产废气特性对废气处理工艺进行了改造并取得了较好的效果。
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