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研究了反应磁控溅射(magnetron sputtering)技术制备的纳米厚度YSZ电子阻隔层对以GDC为电解质的低温固体氧化物燃料电池性能的影响。通过对YSZ隔层的物相分析、形貌观察,探究了不同基底溅射温度对YSZ隔层的影响。随着基底溅射温度的升高,YSZ隔层的针状孔洞减少,说明高温溅射有利于制备与GDC电解质膜结合良好的薄膜。在550℃下电池的V(OCV)(开路电压)提升了0.04 V,最大功率密度提升了24%。结果表明磁控溅射沉积的电子阻隔层能够有效阻隔电子电导,提升电池的开路电压。